Edwards(愛德華)是全球真空設備與減排系統領域的先驅,1919年成立于英國,2014年加入瑞典Atlas Copco集團,現為半導體、光伏、鋰電池等工業領域真空技術的頭部供應商。其產品以高可靠性、節能性和智能化著稱,全球市場份額接近50%,尤其在半導體真空泵領域占據領先地位。
核心工業產品系列與熱銷型號
1. 工業干式真空泵系列
GXS系列(干式螺桿泵)
熱銷型號:GXS160、GXS250、GXS450、GXS750(可搭配高速羅茨增壓泵)
特點:高效處理腐蝕性氣體與微粒,長維護周期(達5年),適用于鋰電池注液、化工蒸餾等高污染場景。
GV系列(大型工業干泵)
熱銷型號:GV600、GV400
特點:大流量、低能耗,專為光伏鍍膜、工業脫氣等連續作業設計,支持5年免拆洗維護。
2. 半導體專用泵系列
iH系列(爪式干泵)
熱銷型號:iH600、iH1000、iH1800
特點:高潔凈度、低振動,用于300mm晶圓制造中的PECVD/LPCVD工藝,兼容顆粒與腐蝕性氣體。
QDP/iQDP系列(干式爪泵)
熱銷型號:QDP80、iQDP40
特點:模塊化設計,集成智能控制,適用于半導體潔凈室的快速抽空需求。
3. 羅茨真空泵系列
EH系列(機械增壓泵)
熱銷型號:EH2600、EH4200
特點:高抽速、寬壓力范圍,作為前級泵用于半導體設備、冶金工藝等高流量場景。
MB系列(大型羅茨泵)
熱銷型號:MB5700
特點:超大功率輸出,適用于工業級連續運行(如鋼鐵冶煉、化工反應釜)。
4. 油封式真空泵系列
EM系列(大型油封泵)
熱銷型號:E2M80、E2M275
特點:高極限真空、低噪音,用于變壓器干燥、燈具制造等粗真空場景。
RV系列(小型油封泵)
熱銷型號:RV12、RV8
特點:雙模式切換(高流量/高真空),適用于實驗室、小型工業設備配套。
5. 特殊工業應用泵
EDC系列(爪式干泵)
熱銷型號:EDC300、EDC500
特點:耐腐蝕涂層、蒸汽消毒兼容,專為食品加工、醫療滅菌設備設計。
nXDS系列(渦卷干泵)
熱銷型號:nXDS20i
特點:緊湊型設計,低能耗,適用于精密儀器與潔凈室環境。
技術優勢與工業應用價值
高效節能:采用干式無油技術減少污染,GXS系列能耗降低30%,環保模式可進一步節省20%電力。
極端環境適應性:iH系列耐受腐蝕性氣體與微粒,MB系列可處理高溫粉塵,EM系列蒸汽處理能力達220g/hr。
智能化控制:集成傳感器與遠程監控系統,實時預警維護需求,減少停機時間。
定制化方案:針對光伏、鋰電池等新興行業,提供從泵組到減排系統的整體解決方案(如EZENITH集成系統)。