品牌背景
EVG(EV Group)成立于1980年,總部位于奧地利,是全球領先的半導體、微機電系統(MEMS)及納米器件制造設備供應商,同時涉足工業連接器、風機等工業品領域。其產品以高精度、高可靠性著稱,廣泛應用于半導體制造、汽車電子、工業自動化、能源及環保等行業,在全球擁有超過40家分支機構和代理商網絡。
核心工業品產品系列與熱銷型號
1. 半導體與MEMS制造設備
納米壓印光刻(NIL)設備
SmartNIL?技術:采用無掩模光刻工藝,支持單納米精度的3D結構制造,適用于光學器件、生物MEMS等高復雜度領域。
HERCULES NIL系統:集成高產量(40片/小時)與模塊化設計,兼容200mm晶圓,適用于大規模生產。
晶圓鍵合系統
EVG500系列(如EVG510):半自動鍵合機,支持陽極鍵合、熱壓鍵合等工藝,適用于MEMS、3D封裝及TSV(硅通孔)工藝,鍵合精度達亞微米級,處理晶圓尺寸最大200mm。
ComBond?技術:實現真空封裝與低溫金屬鍵合,用于高可靠性MEMS器件與ASIC集成。
2. 工業連接器與電纜組件
M9系列連接器
M9 IP40電纜插頭/插座:防水防塵設計,適用于工業自動化設備、機器人及惡劣環境中的信號傳輸,支持快速插拔與高電流承載。
M12/M18適配器:模塊化設計,兼容多種品牌接口(如Neutrik、Harting),簡化工業設備布線。
軸流風機與通風設備
EVG軸流風機(如RVM/RU 450 R-GR90):耐高溫(達900℃)、低能耗,適用于鋼鐵、化工、隧道等場景的通風與冷卻,壽命長達20年以上。
徑向離心風機(如RVH4/RU 560 R):高風壓與大風量設計,用于工業生產線的氣流控制與除塵。
技術優勢
高精度制造技術
納米壓印與鍵合設備采用亞微米級對準精度,支持復雜3D結構制造。
工業級可靠性
連接器與風機產品通過IP67/IP69K防護認證,耐腐蝕、耐高溫,適應極端環境。
模塊化設計
設備與組件支持快速配置與擴展,例如EVG510鍵合機可兼容150-200mm晶圓工藝。
工業應用領域
半導體與MEMS:納米壓印、晶圓鍵合、先進封裝。
工業自動化:M9/M12連接器、急停開關、傳感器集成。
能源與環保:軸流風機用于鋼廠、化工廠的通風與冷卻。
汽車制造:壓力傳感器、溫度控制器及線束連接器。